Metallbalg-Vakuumpumpe

Die Metallbalg-Vakuumpumpe ist ein relativ Nischengebiet, aber technologisch fortschrittlich. Es bezieht sich insbesondere auf eine Vakuumpumpe, die einen Metallbalg als zentrales Antriebs- und Dichtungselement verwendet.

 

Dieser Pumpentyp wird typischerweise nicht als Primärpumpe zum Erreichen sehr hoher Vakuumniveaus verwendet, sondern dient eher als Vorpumpe, Transferpumpe oder wird unter bestimmten anspruchsvollen Bedingungen eingesetzt. Sein Kernwert ergibt sich nach wie vor aus den Eigenschaften des Metallbalgs: absolute Dichtheit, Korrosionsbeständigkeit, hohe -Temperaturbeständigkeit und kontaminationsfreier-Betrieb.

Die Metallbalg-Vakuumpumpe ist eine Verdränger-Vakuumpumpe. Ihr Funktionsprinzip ähnelt dem einer Balgpumpe, ist jedoch für Vakuumumgebungen optimiert.

1. Erweiterung und Aufnahme:Der Antriebsmechanismus (normalerweise ein Elektromotor über ein Exzenterrad oder ein Kurbelgestänge) dehnt den Metallbalg aus, wodurch sein Innenvolumen vergrößert und der Druck verringert wird. Wenn der Druck unter den Druck des zu evakuierenden Behälters fällt, öffnet sich das Einlassventil und Gas wird in die Balgkammer gesaugt.
2. Isolierung und Übertragung:Am Ende des Ansaughubs schließt das Einlassventil und fängt einen Teil des Gases im Balg ein.
3. Kompression und Auspuff:Der Antriebsmechanismus komprimiert den Balg, verringert sein Innenvolumen und erhöht den Druck. Wenn der Druck die äußere Umgebung (normalerweise Atmosphärendruck oder den Einlassdruck der Pumpe der nächsten Stufe) übersteigt, wird das Auslassventil geöffnet und das Gas aus der Pumpe ausgestoßen.

Dieser Vorgang wiederholt sich zyklisch, wodurch Gas von einem Niederdruckbereich (Vakuumseite) in einen Hochdruckbereich (Auslassseite) übertragen wird.

Dies ist einer der bedeutendsten Vorteile. Der gesamte Gasweg (vom Einlass zum Auslass) besteht vollständig aus Metall (z. B. Edelstahl, Legierungen auf Nickel--Basis) ohne Schmieröl oder Elastomerdichtungen.

Anwendungen:Bereiche, in denen eine Kontamination mit Öldampf strengstens verboten ist, z. B. Halbleiterverarbeitung, Analyseinstrumente und hochreine Chemie. Es ist eine ideale Wahl, um ein sauberes Vakuum zu erhalten.

Es kann vollständig aus korrosionsbeständigen Materialien hergestellt werden, wodurch korrosive Gase, saure Gase und Halogengase (z. B. Chlor, Chlorwasserstoff, Siliziumtetrafluorid) direkt gepumpt werden können, wohingegen das Öl in gewöhnlichen ölabgedichteten mechanischen Pumpen durch die Reaktion mit diesen Gasen schnell zerfallen würde.

Die Ganzmetallstruktur ermöglicht den Betrieb des Pumpenkörpers bei erhöhten Temperaturen (z. B. über 150 Grad). Das Pumpengehäuse kann sogar erhitzt werden, um die Kondensation bestimmter korrosiver oder kondensierbarer Gase im Inneren der Pumpe zu verhindern, die Korrosion verursachen könnten.

Die Metallbalgdichtung eliminiert grundsätzlich die Leckagestelle der Wellendichtung, sorgt so für eine langfristige Vakuumintegrität und verhindert außerdem, dass Atmosphäre in die Pumpenkammer eindringt.

Aufgrund seiner abgedichteten Beschaffenheit und Korrosionsbeständigkeit wird es häufig zur Probenahme oder Umwälzung korrosiver Gase in geschlossenen Systemen verwendet.

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